上海汉虹SEMICON China 2023圆满落幕,期待明年再聚!

企业新闻2023-07-01

社交媒体 |

6月29日至7月1日,以“跨界全球·心芯相联”为主题的半导体行业盛会SEMICON CHINA 2023在上海新国际博览中心隆重举办。

此次SEMICON China覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链,致力于为行业提供了解全球产业格局、前沿技术与市场走势的机会,推动研发创新和产业持续发展。

本届展会,上海汉虹精密机械有限公司与Ferrotec(中国)旗下众兄弟公司联袂亮相Semicon China 2023,共同展示Ferrotec旗下众多半导体相关设备、材料、部件及服务,吸引了诸多观众驻足参观。

尽管由于半导体产业受到出口管制,供应链秩序被打破,中国半导体行业的发展受到了诸多不确定因素的影响,但得益于政策支持以及国内半导体企业的持续努力,中国半导体行业在近年来依旧取得了全球瞩目的成果,芯片设计、制造、测试等领域的不断突破,正推动着新能源汽车、通信设备、5G等行业的快速发展,这从本次展会的火爆程度就可见一斑。

汉虹作为半导体材料晶体生长&加工系统解决方案综合供应商,始终以提高企业技术开发能力和高新技术成果转化能力为目标,致力于为客户提供更具竞争力的产品及服务。

近年来,汉虹研发生产的单晶硅长晶炉、碳化硅长晶炉、双面研磨/双面抛光机等设备也是收获了诸多奖项及好评。

汉虹半导体单晶炉

单晶炉——在惰性气体环境中,用石墨加热器将硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备。

性能优势:

· 设备主体结构优化,提高了整机稳定性。

· 具有拉制12英寸COP FREE半导体单晶硅棒的功能。

· 采用新型隔离阀。

· 液面高度监控系统。

· 高精度传动机构。

· 双层水冷套、可升降双层4 ~ 6英寸碳化硅长晶炉(感应式)

6 ~ 8英寸碳化硅长晶炉(感应式)

PVT碳化硅长晶炉

PVT采用感应加热方式,在石英管/不锈钢腔体内以物理气相传输(PVT )法生长生长碳化硅晶体采用下进料方式,更加利于实现工厂自动化。

性能优势:

· 下进料方式,利于实现工厂自动化。热场旋转,升降式线圈,用于调整温度场。

· 自主研发异地网络远程监控操作系统,实现长晶过程的全自动控制。

· 分级权限,便于工艺参数管理;远程控制,实现无人值守。

· 温度和压力控制的稳定性;重复定位的准确性;快速抽空及长时间真空保压。布局紧凑合理,整机呈框架式结构,将电控箱、加热电源巧妙集成于一体。

· 电动升降上下料,托盘降至最低位置后可水平移出,电动升降炉盖,省时省力,安全可靠。

· 配置两路真空系统,高精度用于晶体生长的压力控制,普通精度用于抽真空。

8英寸碳化硅长晶炉(感应式/电阻式)

LPE碳化硅长晶炉

LPE法最大的优点在于扩径更容易、晶体长晶快、有机会生长出相较其他方法缺陷密度更少的晶体,并且生长温度也相较低,在更接近热力学平衡的条件下,对碳化硅晶型的控制也较好。

性能优势:

· 可根据客户的工艺情况提供半定制化服务。

· 高真空:腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着;各表面严密结合,避免产生泄漏;大抽速泵体,实现快速抽空功能;高密封性阀体,实现长时间的真空保压。

· 高精密:高精度数控加工部件;精密传动部件;高品质电控系统;实现运动系统的高精度控制,重复定位无偏差。

· 全自动:自主开发系统,实现全自动过程;兼容各种工艺操作流程;操作权限分级,减少误动作;自主研发异地网络远程监控SiC操作系统⸺安全,可靠,便捷,实现无人值守远程控制。

双面研磨/抛光机

主要用于硅片、石英、陶瓷、玻璃、晶体、石英晶体等泛半导体材料双面高精密研磨与抛光。

性能优势:

· 研磨过程全自动控制。

· 工艺过程平稳运行。

· 采用触摸屏,操作方便。

· 有限元分析设计,受力均匀,结构稳定。

· 自主操作系统,操作简单,易学易懂。

· 自润滑系统,自动给油,长期免维护。

· 丰富选配,适用多种材料加工模式。

 

单面抛光机

适用于半导体硅片、磷化铟等硬脆材料的高精度单面抛光。

性能优势:

· 龙门加强式框架稳定性高,不易变形。

· 准确控制定盘温度均匀完成去除量。

· 低摩擦气缸加压抛头,轻松控制加工压力。

· 核心部件精密可靠, 加工精度高,设备保留多种升级空间,选配丰富。

后续,汉虹将继续精准聚焦客户需求,努力在下届展会为客户带来更多更具竞争力的产品及服务,与众多合作伙伴一起推动中国半导体产业的持续健康发展!

 

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