展会预告 | 14A022展台——上海汉虹邀您相聚SEMI-e 深圳国际半导体展

企业新闻2023-05-11

社交媒体 |

SEMI-e深圳国际半导体展将于2023516-18日在深圳国际会展中心(宝安新馆)盛大开幕,集中展示以芯片设计及制造、集成电路、封测、材料及设备、5G新应用、新型显示为主的半导体产业链。

此次展会,上海汉虹精密机械有限公司也将在14号馆14A022展台,为大家带来新一代碳化硅长晶炉,欢迎各位莅临汉虹展台参观交流!

产品介绍

一、PVT碳化硅长晶炉

 

4 ~ 6英寸碳化硅长晶炉(感应式)

 

6 ~ 8英寸碳化硅长晶炉(感应式)

 

6 ~ 8英寸碳化硅长晶炉(电阻式)

 

PVT采用感应加热方式,在石英管/不锈钢腔体内以物理气相传输(PVT )法生长生长碳化硅晶体采用下进料方式,更加利于实现工厂自动化。

技术特点:

· 下进料方式,利于实现工厂自动化。热场旋转,升降式线圈,用于调整温度场。

· 自主研发异地网络远程监控操作系统,实现长晶过程的全自动控制。

· 分级权限,便于工艺参数管理;远程控制,实现无人值守。

· 温度和压力控制的稳定性;重复定位的准确性;快速抽空及长时间真空保压。布局紧凑合理,整机呈框架式结构,将电控箱、加热电源巧妙集成于一体。

· 电动升降上下料,托盘降至最低位置后可水平移出,电动升降炉盖,省时省力,安全可靠。

· 配置两路真空系统,高精度用于晶体生长的压力控制,普通精度用于抽真空。

 

二、LPE碳化硅长晶炉

 8英寸碳化硅长晶炉(感应式/电阻式)

 

LPE法最大的优点在于扩径更容易、晶体长晶快、有机会生长出相较其他方法缺陷密度更少的晶体,并且生长温度也相较低,在更接近热力学平衡的条件下,对碳化硅晶型的控制也较好。

技术特点:

· 汉虹公司可根据客户的工艺情况提供半定制化服务。

· 高真空:腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着;各表面严密结合,避免产生泄露;大抽速泵体,实现快速抽空功能;高密封性阀体,实现长时间的真空保压。

· 高精密:高精度数控加工部件;精密传动部件;高品质电控系统;实现运动系统的高精度控制,重复定位无偏差。

· 全自动:自主开发系统,实现全自动过程;兼容各种工艺操作流程;操作权限分级,减少误动作;自主研发异地网络远程监控SiC操作系统安全,可靠,便捷,实现无人值守远程控制。

产品详情敬请莅临汉虹展台......

 

 展位信息

全国热线

021-36162928

Copyright © 上海汉虹精密机械有限公司 沪ICP备12008363号-1

在线咨询

感谢您的关注,汉虹专属技术顾问将为您提供服务

提交
取消

微端咨询

扫描二维码,汉虹专属技术顾问将为您提供服务

取消

扫描二维码,关注抖音汉虹官方公众号

取消